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產(chǎn)品中心

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半導(dǎo)體用石英材料

適用于半導(dǎo)體、光伏等各個(gè)行業(yè)應(yīng)用。

長飛石英公司應(yīng)用多種合成及熔融工藝，采用SiCl_４,有機(jī)硅烷和高品質(zhì)天然石英砂，基于自主工藝制造的各類合成和電熔石英錠，可滿足半導(dǎo)體、光伏、工業(yè)等泛半導(dǎo)體行業(yè),對石英材料理化特性與光學(xué)性能的嚴(yán)苛要求，為客戶提供材料性能優(yōu)異、穩(wěn)定、可定制化的大尺寸石英材料及產(chǎn)品。

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半導(dǎo)體用合成石英-典型的微量雜質(zhì)含量（ppb）

雜質(zhì)含量ppb	Li	Na	K	Mg	Ca	Cu	AI	Cr	Fe	Ti
YS-1220	≤0.001	≤0.003	≤0.001	≤0.001	≤0.001	≤0.001	≤0.003	≤0.001	≤0.001	≤0.005
YS-2230	≤0.001	≤0.005	≤0.005	≤0.005	≤0.005	≤0.001	≤0.005	≤0.001	≤0.001	≤0.008

注：采用ICP-MS法測定，表中數(shù)據(jù)為典型值

產(chǎn)品	型號		典型尺寸 (mm)	產(chǎn)品特點(diǎn)：合成石英材料
產(chǎn)品	石英部件用	光學(xué)部件用	典型尺寸 (mm)	產(chǎn)品特點(diǎn)：合成石英材料
低OH合成石英錠	YS-1220	YS-1320	φ350xH50/φ450xH45	ppb級雜質(zhì)含量· 低OH含量無氣泡低應(yīng)力
合成石英錠	YS-2230	YS-2330	330x330x40/500x500xH50/ 1200x850x50	ppb級雜質(zhì)含量· 低OH含量無氣泡低應(yīng)力

長飛電熔石英-典型的微量雜質(zhì)含量

雜質(zhì)含量 ppm	Al	B	Ca	Co	Cr	Cu	Fe	K	Li	Mg	Mn	Na	Ni	Ti	OH
YE-3234	≤13	≤0.1	≤1.0	≤0.06	≤0.03	≤0.5	≤1.0	≤0.9	≤0.5	≤0.62	≤0.06	≤1.0	≤0.27	≤2.2	≤20

基于天然砂的高純石英產(chǎn)品特性

產(chǎn)品	型號		典型尺寸 (mm)	應(yīng)用領(lǐng)域	產(chǎn)品特點(diǎn)
電熔石英錠	YE-3234		φ1900xH500	半導(dǎo)體、光伏、工業(yè)等	純度高，OH含量及氣泡率低，耐高溫性能好

可根據(jù)客戶需求，定制加工各種規(guī)格石英部件

光學(xué)透過性能

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機(jī)械性能

參數(shù)	單位	合成石英類	電熔石英類
密度	g/cm³	2.20	2.20
莫氏硬度	-	7	6~7
楊氏模量	GPa	72.80	70
剪切模量	GPa	31.22	30
泊松比	-	0.17	0.17
抗壓強(qiáng)度	GPa	1.13	1.13
抗拉強(qiáng)度	MPa	49	49
彎曲強(qiáng)度	MPa	94.3	94

熱學(xué)性能

參數(shù)	單位	電熔石英YE系列	合成石英YS-1220	合成石英YS-2230
應(yīng)變點(diǎn)（η=10^14.5dPa·s）	°C	1100	1070	1000
退火點(diǎn)（η=10¹³dPa·s）	°C	1210	1200	1160
軟化點(diǎn)（η=10^7.6dPa·s）	°C	1720	1680	1620
熱膨脹系數(shù)
20~100°C	×10^-6/°C	0.49	0.49	0.49
20~300°C	×10^-6/°C	0.55	0.55	0.55
20~600°C	×10^-6/°C	0.54	0.54	0.54